激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。

　　激光干涉儀的使用注意事項：

　　1、激光干涉儀必須定人保管，機加技術組人員專人專用，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。

　　2、激光干涉儀要設置專庫存放，環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。

　　3、對激光干涉儀要小心輕放，避免強烈的沖擊震動，安置儀器前應檢查三腳架的牢固性，整個作業過程中工作人員不得離開儀器，防止意外發生。

　　4、激光干涉儀應避免在溫度變化大、有風、潮濕環境下測量，此時檢測結果將收到很大的影響。

激光干涉儀作為機床的測量系統可以提高機床的精度和效率。起初僅用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上，以后又用于加工中心的定位系統中。但由于在一般機床上使用感應同步器和光柵一般能達到精度要求，而激光儀器的抗振性和抗環境的干擾性能差，且價格較貴，目前在機械加工現場使用較少。